產(chǎn)品中心
Product Center當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體光學(xué)檢測系列
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產(chǎn)品分類MICRO LED晶圓級綜合檢測系統(tǒng)明場/PL檢測類型:明場缺陷分析、電極缺陷分析、PL缺陷分析。
鈣鈦礦太陽能電池綜合性檢測分析系統(tǒng)檢測時間<10 min(10cm*10cm) 空間分辨率20 μm/100μm。
碳化硅成像檢測,SiC晶圓質(zhì)量成像檢測系統(tǒng):晶圓襯底質(zhì)量(載流子壽命)高速成像,快速篩查外延片晶格質(zhì)量。
碳化硅襯底檢測,碳化硅成像檢測,碳化硅襯底位錯缺陷光學(xué)無損檢測系統(tǒng):最高檢測速度:<17min/片(6“);BPD、TSD、TED分類識別。